음향센서용 PMN-PT 압전 캔틸레버의 제작 및 특성 측정

허신; 이성규; 김완두

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 허신 (한국기계연구원) 이성규 김완두

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 바이오공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집

발행연도: 2008.5

수록면: 285 - 286 (2page)

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2012

생체모사 마이크로 멀티캔틸레버 음향센서의 제작 및 음향특성측정

허신 , 곽준혁 , 정영도 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.05 학술대회자료

2011

MEMS 기반 생체모사 음향센서 제작 및 주파수 특성 분석

허신 , 정영도 , 이영화 외 2명 비파괴검사학회지 2011.10 학술저널

2008

음향센서용 PMN-PT 압전 캔틸레버의 제작 및 특성 측정

허신 , 이성규 , 김완두 대한기계학회 춘추학술대회 2008.05 학술대회자료

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We have fabricated piezoelectric PMN-PT single crystal cantilever array which has the cantilever size of the width of 200 ㎛ and the thickness of 10㎛. The length of cantilever was adjusted with a parameter of resonance frequency. Resonance frequency of PMN-PT cantilevers was measured with las ... 전체 초록 보기

#PMN-PT(PMN-PT) #Piezoelectric(압전) #Cantilever(캔틸레버) #Sensitivity(민감도) #Resonance(공진) #Acoustic sensor(음향센서)

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김완두

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