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1. 머리말
2. cMUT의 구조 및 작동 원리
3. cMUT의 특성
4. 맺음말
참고문헌
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의료에서의 센서와 MEMS 기술 응용
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MEMS 기술을 이용한 마이크로 전자 패키징 기술
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