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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌
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저자소개
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자기장 분포 제어에 의한 마그네트론 스퍼터링 증착 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 단일 전자 소자용 금 나노 입자의 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
고밀도 플라즈마 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 TiNx 박막의 특성 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2011 .05
마그네트론 DC 스퍼터링에 의한 광소자용 거울면의 표면조도 향상
한국통신학회 기타 간행물
2002 .10
DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구
전력전자학회 학술대회 논문집
2019 .07
마그네트론 음극의 자석 배열에 따른 방전의 형상 변화 연구
한국표면공학회지
2008 .06
마그네트론 스퍼터링 효율 향상을 위한 시뮬레이션 기반 자기장 설계
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2017 .04
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 anatase TiO₂ 박막의 증착거동 및 광학적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
Preparation and Characterization of IZO Thin Films grown by DC Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 AZO 박막의 특성
한국표면공학회지
2007 .06
반응성 dc 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ITO박막에 미치는 산소분압의 영향
한국표면공학회지
1998 .06
DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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