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이용수
Abstract
1. 서론
2. MEMS 기반의 비분산식 이산화탄소 센서
3. 마이크로 볼로미터의 제작 및 특성 평가
4. 기준신호를 제공하는 이산화탄소 필터 칩
4. 이산화탄소 측정 시스템 구성 및 농도 측정
3. 결론
참고문헌
저자소개
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