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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2002.5
수록면
497 - 502 (6page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 미세 힘센서의 감지부 설계
3. 미세 힘센서의 감도 회로설계
4. 미세 힘센서의 공정설계 및 제작
5. 결론
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