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대한전기학회 전기학회논문지 電氣學會論文誌 第44卷 第1號
발행연도
1995.1
수록면
77 - 81 (5page)

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1. 서론
2. 공정 시뮬레이션
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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