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Abstract
1. 서론
2. poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작
3. 결과 및 분석
3. 결론
참고문헌
저자소개
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엑시머 레이저를 이용하여 동시에 형성된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막 ( Silicon Oxide and Poly - Si Film Simultaneously Formed By Excimer Laser )
전자공학회논문지-D
1997 .01
금속 유도 엑시머 레이져 어닐링을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
Improvement in Electrical Stability of poly-Si TFT Employing Vertical a-Si Offsets
한국정보디스플레이학회 학술대회
2000 .01
SiOxFy/a-Si 구조에 엑시머 레이저 조사에 의해 불소화된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성과 신뢰도 향상
전기학회논문지 C
1999 .09
Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing을 이용한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터에의 응용
한국재료학회지
2014 .01
이중 활성층 ( a-Si/a-SiNx ) 의 XeCl 엑시머 레이저 어닐링 효과 ( Excimer Laser Annealing Effects of Double Structured Poly-Si Active Layer )
전자공학회논문지-D
1998 .06
선택적 결정화를 통한 채널에 비정질 영역을 갖는 새로운 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지
1997 .11
마이크로웨이브법으로 고상결정화 시킨 poly-Si 박막을 이용하여 제작한 저온 poly-Si TFT의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
플라스틱 기판위에 엑시머 레이저 열처리된 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전자공학회논문지-IE
2006 .06
Poly-Si의 성장 기구와 제특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .07
Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
새로운 레이저 어닐링 방법을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
ELA(Excimer laser Annealing)에 의한 poly-Si의 $O_2$plasma에 의한 계면 거칠기 제어와 poly-Si TFT 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
다결정 박막 실리콘 태양전지를 위한 이종 기판 위의 seed layer 제작에 관한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2000 .06
박막트랜지스터 응용을 위한 고온 결정화된 다결정실리콘의 특성평가
전기학회논문지 C
2004 .05
The a-Si:H/poly-Si Heterojunction Solar Cells
Journal of Electrical Engineering and information Science
1997 .10
짧은 채널 길이의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 스트레스에 대한 연구 ( A Study of Electrical Stress on Short Channel Poly-Si Thin Film Transistors )
전자공학회논문지-A
1995 .08
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