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Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
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AI/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(1)
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
Ti-AI-N과 Ti-AI-Si-N 코팅막의 상 특성 및 내산화 거동
한국표면공학회지
2004 .06
열처리에 따른 TiN/Ti/Si 구조의 열적반응 및 산소원자의 거동에 관한 연구 ( The Thermal Reactin and Oxygen Behavior in the Annealed TiN/Ti/Si Structures )
전자공학회논문지-A
1992 .07
급속 열처리시 Co/Ti/Si(100)계를 이용한 정합 Co$Si_{2}$형성기구 및 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Al/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(2)
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
High Temperature Oxidation of TiN/Ti₅Si₃ Composites Prepared by Polymer Pyrolysis
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
형성조건에 따른 TiN/Ti Barrier Metal의 Al 및 Si 과의 열적 안전성 ( Thermal Stability of TiN/Ti Barrier Metals with Al Overlayers and Si Substrates Modified under Different Annealing Histories )
전자공학회논문지-A
1993 .07
최적조건에서 형성된 TiN / Ti 구조의 Thermal Stability 에 관한 연구 ( Thermal Stability of Optimized TiN / Ti Barrier Metals with Al : 1%Si Overlayers and Si Substrates )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
Ti/TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact특성
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Ti / TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact 특성 ( The Formation and Contact Characteristics of Ti / TiN Structure Barrier Metal )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
AI, Ti/AI, Cr/AI 및 Si/AI을 코팅한 스테인레스강판의 내식성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1996 .11
In-Situ 반응소결에 의한 전도성 $Si_3N_4$-TiN 복합세라믹스 제조
한국재료학회지
1999 .01
Ti / TiN 이층 BARRIER 구조를 갖는 0.5μm CONTACT의 P+ CONTACT 저항
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
" Stuffed " Barrier Metal 형성조건에 따른 TiN / Ti 의 Al : 1%Si 및 Si 과의 열적 안정성 ( Thermal Stability of " Stuffed " TiN / Ti Diffusion Barriers Formed under Different Thermal History with Al : 1%Si Overlayers and Si Substrate )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
스퍼터링한 Ti의 질화에 의한 TiN 형성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
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