급속 열처리공정 ( RTA ) 에 의한 a-Si / Ti / a-Si 다층구조의 TiSi2 형성에 관한 연구 ( Titanium Silicide Formation of the a-Si / Ti / a-Si Multilayer by Rapid Thermal Annealing )

윤형섭 ,  진영모 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구

홍영수 ,  권세훈 ,  김광호

한국표면공학회지

2009 .04

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구

홍영수 ,  권세훈 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

코발트/내열금속 이중박막을 이용한 $CoSi_{2}$ 에피박막형성에 관한 연구

김종렬 ,  조윤성 ,  배규식

한국재료학회지

1995 .01

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구

오준환 ,  이종무

한국재료학회지

2001 .01

기계적 합금화과정에서의 in situ 열분석에 의한 Ti-25.0～37.5at%Si 분말의 합성거동

변창섭 ,  현창용 ,  김동관

한국재료학회지

2004 .01

하이브리드 공정으로 제조한 Ti-Si-N 박막의 특성평가

고철호 ,  이홍림 ,  김봉섭 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

후속열처리에 따른 AI/TiN/Ti/Si 전극의 전기적 특성

李鐵眞 ,  成萬永 ,  成英權

전기학회논문지

1996 .07

SiO_x/n⁺-Si/Si(100) quantum well의 특성

김지훈 ,  변정현 ,  유정재 외 3명

Proceedings of KIIT Conference

2011 .05

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )

김광일 ,  권영규 ,  정욱진 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Effect of Si addition on the Corrosion Behavior of Ti-Si-N Coatings by a Hybrid Coating System

Ji Hoon Pa ,  k ,  Se Hun Kwon 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Si+ 이온주입된 Si 기판의 결함형성 및 회복에 관한 연구 ( Characteristics of Si + - self implant Damage and Its Annealing Behavior )

김광일 ,  이상환 ,  정욱진 외 4명

전자공학회논문지-A

1994 .08