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This paper reports the piezoelectric micro speakers that are audible in open air with high quality piezoelectric AIN thin film deposited onto Mo/Ti electrode. This successful achievement, compared to the previous results, is followed by manipulating two material properties: the one is to use a compressively stressed silicon nitride film as a supporting diaphragm (even tensile stressed, around +20 ㎫) and the another is to use high quality AIN thin film with compressive residual stress (less than -100 ㎫). With these materials, the Sound Pressure Level (SPL) of the fabricated microspeakers shows more than 60 ㏈ from 100 ㎐ to 15 ㎑ and the highest SPL is about 100 ㏈ at 9.3 ㎑ with 20 Vpeak-to-peak sinusoidal input and with 10 ㎜ distances from the fabricated microspeakers to the reference microphone (B&K Type 2669 & 4192L).
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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1. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / Digital sound reconstruction using array of CMOS-MEMS microspeakers : 296 ~
2. [학술지(정기간행물)] - / 1996 / Piezoelectric Cantilever Microphone and Microspeaker 5 (4) : 238 ~
3. [학술지(정기간행물)] - / 2000 / Parylene-Diaphragm Piezoelectric Acoustic Transducers : 148 ~
4. [학술지(정기간행물)] - / 2001 / Design of a New PZT Based Microphone and Microspeaker 259-264 : 55 ~
5. [학술지(정기간행물)] - / 2006 / Growth of high quality AlN thin films on diamond using TiN/Ti buffer layer 15 : 404 ~
2. [학술지(정기간행물)] - / 1996 / Piezoelectric Cantilever Microphone and Microspeaker 5 (4) : 238 ~
3. [학술지(정기간행물)] - / 2000 / Parylene-Diaphragm Piezoelectric Acoustic Transducers : 148 ~
4. [학술지(정기간행물)] - / 2001 / Design of a New PZT Based Microphone and Microspeaker 259-264 : 55 ~
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