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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 556 - 561 (6page)
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This paper reports the characteristics of piezoelectric microspeakers that are audible in open air with high quality piezoelectric AlN thin film according to the materials properties. When we use a tensile-stressed silicon nitride diaphragm as a supporting layer, the Sound Pressure Level (SPL) is relatively small and constant at low frequency region and shows about 70 ㏈ at 10 ㎑. However, in case of a compressively stressed composite diaphragm, the SPL of the fabricated microspeakers shows higher output pressure than those of a tensile-stressed diaphragm. It produces more than 66 ㏈ from 100 ㎐ to 15 ㎑ and the highest SPL is about 100 ㏈ at 9.3 ㎑ with 20 Vpeak-to-peak sinusoidal input biases and at 10 mm distances from the fabricated microspeakers to the reference microphone. From the experimental results, it is superior to have a compressively composite diaphragm in order to produce a high SPL in piezoelectric microspeaker.
목차
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참고문헌 (8)
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A.K. Sinha / 1978 / The temperature dependence of stresses in aluminum film on oxidized silicon substrates / Thin Solid Films 48 : 118 ~
B.M. Diamond / 2002 / Digital sound reconstruction using array of CMOS-MEMS microspeakers / in Tech. Digest of IEEE 15th International MEMS conference : 296 ~
C.H. Chou / 2006 / Growth of high quality AlN thin films on diamond using TiN/Ti buffer layer / J. Diamond and Related Materials 15 : 404 ~
C.H. Han / 2000 / Parylene- Diaphragm Piezoelectric Acoustic Transducers / in Tech. Digest of IEEE. 13th International MEMS conference : 148 ~
M. Benetti / 2005 / Growth and characterization of piezoelectric AlN thin films for diamond-based surface acoustic wave devices / Thin Solid Films 497 : 590 ~
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