급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

인이 in-situ로 도핑된 다결정 실리콘의 열처리 온도에 따른 비저항의 변화

김민수 ,  임찬 ,  박영진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

CW CO₂ Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리

양광선 ,  박종태 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

CW CO2 Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리 ( The annealing of polycrystalline silicon by CW CO2 Laser )

양광선 ,  박종태 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

디스플레이 소자 개발을 위한 다결정 실리콘 확산의 컴퓨터 모델링에 관한 연구

이홍주 ,  이준하

한국산학기술학회 논문지

2004 .06

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

열처리가 반절연성 다결정 실리콘 박막의 구조 및 전기적 특성에 미치는 영향

조원주 ,  H. Kuwano

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화

이창우 ,  고민경 ,  우상록 외 4명

한국재료학회지

1997 .01

다결정 실리콘과 백금 전극사이의 접촉저항 특성

Shin ,  Woong-Chul ,  Pa 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

The Passivation Properties with Various Annealing Condition of P-doped Poly-Silicon/Silicon Oxide/Crystalline Silicon Structure

Sungjin Choi ,  Kwan Hong Min ,  Myeong Sang Jeong 외 6명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

램프 스캐닝 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성 및 TFT 제작에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Polycrystalline Silicon Film by Lamp-Scanning Annealing and Fabrication of Thin Film Transistors )

김태경 ,  김기범 ,  이병일 외 1명

전자공학회논문지-D

1999 .01

CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구

박병황 ,  안철

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구 ( A Study on the Sheet Resistance Variation in Ion Implanted Poly-Si Thin Flim by CO2 Laser Annealing )

박병황 ,  안철

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

고 효율 다결정 실리콘 태양전지를 위한 고속 열처리 공정에 대한 연구

정지원

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2005 .06

엑시머 레이저를 이용하여 동시에 형성된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막 ( Silicon Oxide and Poly - Si Film Simultaneously Formed By Excimer Laser )

박철민 ,  민병혁 ,  전재홍 외 3명

전자공학회논문지-D

1997 .01

N+-P/P+ 다결정 실리콘 태양 전지의 제작 및 특성 ( Fabrication and Characteristics of N+-P/P+ Polycrystalline Silicon Solar Cell )

정호선

전자공학회지

1982 .05

두 단계 열처리에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성의 분석

崔權永 ,  韓民九 ,  金容商

전기학회논문지

1996 .04