CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구 ( A Study on the Sheet Resistance Variation in Ion Implanted Poly-Si Thin Flim by CO2 Laser Annealing )

박병황 ,  안철

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

CW CO₂ Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리

양광선 ,  박종태 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

이온주입에 의한 다결정 실리콘의 고유저항 모델링 ( The Resistivity Modeling of Ion Implanted Polycrystalline Silicon )

박종태 ,  이문기 ,  김봉렬

전자공학회논문지

1986 .05

자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

朴基燦 ,  朴辰雨 ,  鄭湘勳 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .01

이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막

김천홍 ,  박철민 ,  전재홍 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

새로운 레이저 어닐링 방법을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

이재훈 ,  이민철 ,  전재홍 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

엑시머 레이저를 이용하여 동시에 형성된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막 ( Silicon Oxide and Poly - Si Film Simultaneously Formed By Excimer Laser )

박철민 ,  민병혁 ,  전재홍 외 3명

전자공학회논문지-D

1997 .01

급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화

이창우 ,  고민경 ,  우상록 외 4명

한국재료학회지

1997 .01

실리콘 이온 주입후 고상 결정화시킨 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of the Poly-Si TFT using SPC Films after Si Ion Implantation )

이병주 ,  김재영 ,  강문상 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .10

A$s^+$이온을 주입시킨 Si 표면부 미세구조와 특성

신동원 ,  최철 ,  박찬경 외 1명

한국재료학회지

1992 .01

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

플라스틱 기판위에 엑시머 레이저 열처리된 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

최광남 ,  곽성관 ,  김동식 외 1명

전자공학회논문지-IE

2006 .06

선택적인 Si 이온 주입이 비정질 실리콘의 레이저 결정화에 미치는 영향

남우진 ,  이민철 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

캐스트 다결정 실리콘 내의 산소 및 탄소의 열처리 특성에 관한 연구

黃寅鉀

전기학회논문지

1998 .06

급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )

김광일 ,  권영규 ,  정욱진 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Si+ 이온주입된 Si 기판의 결함형성 및 회복에 관한 연구 ( Characteristics of Si + - self implant Damage and Its Annealing Behavior )

김광일 ,  이상환 ,  정욱진 외 4명

전자공학회논문지-A

1994 .08

열처리가 반절연성 다결정 실리콘 박막의 구조 및 전기적 특성에 미치는 영향

조원주 ,  H. Kuwano

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

BF₂를 주입한 다결정 실리콘 게이트에서 유전 박막에 따른 Boron 침투에 대한 특성 분석

朴進山 ,  鄭允皓 ,  朴光均 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07