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저자정보
박재홍 (국민대학교) 김태우 (국민대학교) 이기성 (국민대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
343 - 349 (7page)

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Nanoimprint lithography is a technique which is expected to obtain micro or nanometer scaled patterns into the substrate by transferring the pre-determined patterns of mold using electron beam, UV, or pressure. In this process, UV resin is deformed by patterned-mold, and cured by UV(Ultraviolet rays). The adhesion behavior has influence on the alignment of micro, nano patterns during nanoimprint process. The adhesion behavior is closely related with productivity. In this study we measure adhesion force and interfacial energy between mold and resin by 4 point bending test and pullout test. The results of different behaviors along with changes of mold materials and lubricants were compared to each other.
#Nanoimprint Lithography(나노임프린트 리소그래피) #NIL, Mold(몰드) #Substrate(기판) #Adhesion test(이형성 평가)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 과정
3. 실험 결과
3. 결론
후기
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