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학술대회자료
저자정보
김규학 (국민대학교) 이승윤 임홍재 (국민대학교) 정재일 (국민대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
3,125 - 3,129 (5page)

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Measuring thickness of resin using a machine vision system and image processing is presented in this research. A machine vsion System is one of the essential parts in order to inspect nano/micro patterns transferred by nanoimprint. Thickness of cured resin is determined from the relative distance between substrate and mold. For the measuring thickness, A machine vision system and image processing are used. A machine vision system which takes a focus on substrate and patten find out relative distance. Also it was possible for measured data to make more precise by image processing.
#Machine Vision System(머신 비전 시스템) #Image Processing(영상처리) #Nano Imprint(나노 임프린트) #Resin(레진)

목차

Abstract
1. 서론
2. 머신비젼시스템을 이용한 위치 측정
3.영상처리 과정
4. 레진의 두께 측정 및 비교
5. 결론
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