다이어몬드 공구를 이용한 Ni 도금층의 정밀미세가공 시 절삭성

김선아; 박동삼

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김선아 (인천대학교) 박동삼 (인천대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회지 Vol.18 No.6

발행연도: 2009.12

수록면: 636 - 641 (6page)

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Recently, expansion of micro-technology parts requires micro-precision machining technology. Micro-groove machining is important to fabricate micro-grating lens and many micro-parts such as microscope lens, fluidic graphite channel etc. Conventional groove fabrication methods such as etching and lithography have some problems in efficiency and surface integrity. But, mechanical micromachining methods using single crystal diamond tools can reduce these problems in chemical process. For this reason, microfabrication methods are expected to be very efficient, and widely studied. This study deals with machinability in micro-precision V-grooves machining of nickel plated layer using non-rotational single crystal diamond tool and 3-axis micro stages. Micro V-groove shape, chip formation and tool wear were investigated for the analysis of machinability of Ni plated layer.

#Micro-precision V-grooves(미세정밀 V 홈) #Ni plated layer(니켈 도금층) #Diamond tool(다이어몬드 공구) #Tool wear(공구마멸)

참고문헌 (10)

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1. [학술지(정기간행물)] - Park, D. S / 2006 / Machining and Crack Characteristics of the Glass Cap for OELD by Powder Blasting / Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers 15 : 51 ~ 58

2. [학술대회논문] - Davies, M. A / 2003 / Application of precision diamond machining to the manufacture of microphotonics components / Proc. of SPIE, Vol. 5183, Lithographic and Micromachining Techniques for Optical Component

3. [학술지(정기간행물)] - 장성민 / 2003 / 초경공구를 사용한 Si3N4-hBN 머시너블 세라믹 가공에서 절삭 파라미터 분석과 결정 / 한국생산제조시스템학회지 12 (6) : 36 ~ 43

4. [학술지(정기간행물)] - 김권흡 / 2006 / 파우더 블라스팅에 의한 유리가공시 실험계획법에 의한 재료 제거량 및 표면 거칠기 예측모델에 관한 연구 / 한국생산제조시스템학회지 15 (2) : 66 ~ 72

5. [학술지(정기간행물)] - Kim, S. C / 1997 / Machining of WC-Co alloys with diamond tool / Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers 6 : 102 ~ 111

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