전극 구조가 간편한 삼상 교류 플라즈마 토치

김광수 ,  박점문 ,  김영배 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )

김성철 ,  황기웅 ,  이종덕 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구

황기웅 ,  이종덕 ,  김성철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구

黃琪雄 ,  金成哲 ,  徐龍雲

전기학회논문지

1987 .11

아르곤과 혼합된 사불산화탄소 가스의 플라즈마 분해에 관한 공간 평균 시뮬레이션

김승겸 ,  서정현

조명·전기설비학회논문지

2018 .12

액체로켓엔진 다점화용 고압 플라즈마 토치 시험연구

강상훈

한국추진공학회 학술대회논문집

2014 .05

CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각

강필승 ,  김창일 ,  김상기

전기전자재료학회논문지

2002 .01

비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향

김종석 ,  정장근 ,  박재윤 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

산업용 토치 개발에 관한 연구

김외동 ,  심재학 ,  장용무 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

전극 간격 가변형 플라즈마 토치의 개발 ( Development of A Plasma Torch With Variable Electrode Gap Spacing )

최병룡 ,  주원태 ,  홍상희

에너지공학

1994 .10

혼합형 플라즈마 토치의 운전 특성 고찰

문영표 ,  박종길 ,  황태원

한국방사성폐기물학회 학술대회

2008 .01

장르 기반 Collaborative Filtering 영화 추천

황기태

한국인터넷방송통신학회 논문지

2010 .01

O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )

최영규 ,  강진영 ,  마동성

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

A Study on the PEO-LiN$(SO_2CF_2CF_3)_2-SiO_2$ Composite Electrolyte

김종욱 ,  이재필 ,  박종완

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

고열전도 CF/Al 복합재료의 개발을 위한 일방향 CF 프리폼의 제조

이문희 ,  김성원 ,  이상필 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

평판형 유도결합 플라즈마 장치의 CF₄ 방전에 대한 Global Simulation

권득철 ,  유동훈 ,  김성식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

CF₄ 분해용 플라즈마 반응기의 방전 특성

박재윤 ,  정장근 ,  김종석 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2004 .05

폴리비닐알코올 필름 표면특성에 있어 $CF_{4}$ 플라즈마 처리의 영향

이재호

한국섬유공학회지

2005 .01

CF₄/O₂ 혼합기체 플라즈마를 이용한 이산화 우라늄의 표면식각반응

민진영 ,  김용수

한국표면공학회지

1999 .04

AP-200L 토치를 이용한 비가연성 방사성폐기물 고온용융처리

최종락 ,  유병수 ,  김천우 외 2명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2003 .01