BCl₃/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마에 의한 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 메커니즘 연구

金承範 ,  金昌日

전자공학회논문지-SD

2000 .11

고밀도 플라즈마에 의한 (Ba.Sr)TiO₃막의 식각특성 연구

김승범 ,  김창일 ,  장의구

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

Ar/CF₄ 고밀도 플라즈마에서 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구

김승범 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Ar/CF₄ 고밀도 플라즈마에서 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 메카니즘

金承範 ,  金昌日

전기학회논문지 C

2000 .05

유도결합 플라즈마에 의한 ( Ba , Sr ) TiO3 박막의 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of ( Ba , Sr ) TiO3 Film by Inductively Coupled Plasma )

김승범 ,  이영준 ,  염근영 외 1명

전자공학회논문지-D

1999 .04

$(Ba,Sr)RuO_3$ 산화물 전극의 열처리가 $(Ba,Sr)TiO_3$의 전기적 특성에 미치는 영향고찰

박경웅 ,  오세훈 ,  박정희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

$(Ba,Sr)TiO_3$의 전기적 특성에 미치는 $Sb_2O_3$의 영향

유신욱 ,  어순철 ,  김일호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Etching characteristics of BST thin films using BCl₃/Cl₂/Ar plasma

Gwan-Ha Kim ,  Dong-Pyo Kim ,  Chang-Il Kim 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .10

ICP를 이용한 Ar/Cl₂/BCl₃ 플라즈마에서 PZT 식각 특성

안태현 ,  김경태 ,  이영희 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

BCl₃/Ar 플라즈마에 따른 TiO₂ 박막의 식각 특성

주영희 ,  우종창 ,  박정수 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

$Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ 박막의 마이크로파 특성에 있어서 응력효과

김일두 ,  임미화 ,  박정호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

증착시간에 따른 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전특성

이상철 ,  임성수 ,  이성갑 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

기판온도에 따른 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 유전특성

이상철 ,  정장호 ,  배선기 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

기판 온도에 따른 Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에서 ZrO₂ 박막의 건식 식각

양설 ,  하태경 ,  위재형 외 2명

한국표면공학회지

2009 .12

BCl₃/Ar 식각 플라즈마에서의 이온 에너지 분포

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

기판온도에 따른 (Ba,Sr)TiO₃ 박막의 구조와 유전특성

李相喆 ,  李文基 ,  李永熙

전기학회논문지 C

2000 .11

THE EFFECTS OF OXYGEN VACANCIES ON THE ELECTRICAL PROPERTIES OF $(Ba,Sr)TiO_3$ CAPACITORS

Kim ,  Il-J. ,  Jang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Ba0.7Sr0.3TiO3 박막 커패시터의 마이크로파 측정 ( Microwave Measurement of Ba0.7Sr0.3TiO3 Thin Film Capacitors )

장병탁 ,  차선용 ,  이승훈 외 5명

전자공학회논문지-A

1996 .02

He/BCl₃/Cl₂유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성

우종창 ,  김창일 ,  주영희 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01