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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치
3. 실험결과
4. 결론
참고문헌
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불평형 마그네트론 스파터링에 의해 형성된 MgO 박막의 글로우 방전특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
용량 결합형 마그네트론 스퍼터링 장치의 방전 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
마그네트론 음극의 자석 배열에 따른 방전의 형상 변화 연구
한국표면공학회지
2008 .06
Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
불평형 마그네트론 스파터링에 의해 형성된 MgO 박막의 micro 방전에 미치는 bias 전압의 영향에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
동공 음극 방전을 이용한 고효율 마그네트론 스퍼터링 공정 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
반응성 마그네트론 프로세서의 방전특성 및 질화티타늄 박막형성에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .12
D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여
한국표면공학회지
1997 .06
DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 단일 전자 소자용 금 나노 입자의 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
Ion Beam Assisted DC Planar Magnetron Sputtering 장치에 의한 PDP용 방전전극 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
DC 마그네트론 스퍼터링 장치의 영구자석에 의한 자기장의 2차원 해석적 해
전기학회논문지 C
2005 .07
Dependence of the Characteristics of the Lab6 Films on the Dc Magnetron Sputtering Power
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
DC와 pulsed 마그네트론 방전 플라즈마에서 탐침 진단 및 플라즈마 수송 역학
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
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