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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 전기물성·응용부문회 2006 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.10
수록면
24 - 25 (2page)

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In this paper, ZnO thin films were prepared on p-Si(100) by RF magnetron sputtering. Before the depostion, the substrates were pre-heated to 500, 400, 300, 200 ℃ or not. During the deposition, the substrates were cooled down naturally or kept and then the films were investigated by XRD(X-ray diffraction) and SEM (scanning micro scope). It ... 전체 초록 보기

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