RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 WO₃/Ag/WO₃ 투명전극의 전기ㆍ광학적 특성 연구

강동수 ,  이붕주 ,  권홍규 외 1명

전기학회논문지

2014 .11

RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)

김희제 ,  문덕쇠 ,  진윤식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Hydrogen Transport through Rf-Magnetron Sputtered Amorphous and Crystalline WO₃ Films

Dong-Jin Kim ,  Su-Il Pyun ,  Joon-Sung Bae

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .05

Post-annealing Effect of N-incorporated WO₃ Films for Photoelectrochemical Cells

Kwang-Soon Ahn

청정기술

2009 .09

스퍼터링법에 의해 제작된 WO₃ 박막의 광분해 특성

이붕주

한국산학기술학회 논문지

2016 .07

RF 스퍼터 증착과 후속 열처리에 의한 Na0.6WO3 박막의상형성 거동과 전기전도 특성

이승현 ,  선호정

전기전자재료학회논문지

2014 .01

Characteristics of WO3 thin Films fabricated by Reactive Sputtering Method

Chang Kyun Kim ,  Shin Won Kang ,  Sung Ho Hahm 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 물성 및 SAW소자 특성에 관한 연구

高鳳哲 ,  田淳培 ,  黃永漢 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .02

STUDY ON SENSING CHARACTERISTICS OF $WO_3$ THIN FILMS DEPOSITED BY R.F. SPUTTERING FOR $NO_{X\x}$ GAS

Yoon ,  Young-Soo ,  Kim 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Thermal evaporation 법으로 제조된$WO_3$ 박막과 Pd-$WO_3$박막의 전기적 특성에 관한 연구

김광호 ,  박진성

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

전기증착법으로 제조된 WO3 박막의 광촉매 특성

강광모 ,  정지혜 ,  이가인 외 4명

한국분말야금학회지

2019 .01

WO₃ 후막형 센서의 H₂S 감응특성

김한수 ,  한상도 ,  김선태

대한환경공학회 학술발표논문집

2001 .12

WO₃를 이용한 반도체 산화물 특성 분석

박정현 ,  방정현 ,  이돈규

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .07

RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구

김현수 ,  김일영 ,  민상홍 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .05

고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

수소 센서용 Pd 첨가한 WO3 박막의 특성

최광표 ,  박진성 ,  권용 외 1명

센서학회지

2006 .01