RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED 제작 및 특성평가

황승호 ,  오명원 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)

김희제 ,  문덕쇠 ,  진윤식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

고주파 마그네트론 스퍼터 기법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 미세구조 및 전기적, 광학적 특성

최정호 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

박재완 ,  박유미 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 증착 중 미리 가열된 기판의 자연냉각 효과

朴成賢 ,  李能憲

전기학회논문지

2007 .05

마그네트론 스퍼터 증착법으로 증착한 ZnO계 투명전극의 특성과 응용

윤선진 ,  김준관 ,  임정욱

인포메이션 디스플레이

2010 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

대향타겟스퍼터법으로 증착된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성

양진석 ,  성하윤 ,  금민종 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

Optical properties of the Al:ZnO transparent conducting oxide films prepared by DC/RF Magnetron Sputtering Method

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구

김현수 ,  김일영 ,  민상홍 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .05

RF스퍼터링법으로 성장시킨 n-ZnO 박막과 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED의 특성

신동휘 ,  변창섭 ,  김선태

한국재료학회지

2013 .01

RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석

유창준 ,  심연아 ,  문종하 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 ZnO:P 나노막대 성장

김영이 ,  조형균

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구

이승환 ,  유윤식

전기전자재료학회논문지

2012 .01

태양전지용 ZnO:Al 투명 전도막 제작

탁성주 ,  강민구 ,  김동환

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2005 .11