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이용수
2000
Abstract
1. 서론
2. HSMS 프로토콜과 SECS-II 프로토콜
3. SECS 프로토콜 통신을 위한 드라이버와 응용 프로그램 구현
4. 결론 및 향후 발전 계획
5. 참고 문헌
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반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 통신을 위한 응용 프로그램 구현
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2000 .10
반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 통신을 위한 응용 프로그램 구현
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반도체 제조 공정에서 장비와 호스트간 SECS 프로토콜 통신을 위한 응용 프로그램 구현
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SECS-I 에 따른 반도체 제조 장비와 호스트간의 직렬 통신 프로그램 개발 ( Development of Serial Communication Program for Semiconductor Equipment and Host by SECS-I )
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2015 .12
윈도우 기반 SECS 프로토콜 구현에 관한 연구
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2006 .07
반도체 장비의 메시지 통합을 위한 소프트웨어 구조 설계
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SECS-II protocol 을 이용한 Auto Insert Off 에 대한 연구
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반도체 검사 장비의 진동 분석
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2008 .04
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1997 .01
속도변화에 따른 점용접된 모자형단면부재의 에너지흡수 특성
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2006 .12
반도체 장비의 시스템 신뢰성 체계 개발 및 적용 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .02
반도체 통신프로토콜 및 스풀링 시스템 구현에 관한 연구
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2006 .01
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대한전자공학회 학술대회
1997 .01
유럽 반도체 장비 및 공정개발 현황
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2007 .01
반도체 Burn-In 공정용 장비 개발
전기의세계
1997 .10
반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2001 .11
센서 네트워크를 이용한 반도체·디스플레이 공정 장비 전력 모니터링 방법
한국통신학회 학술대회논문집
2012 .06
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