CMP 공정 중 발생하는 입자 크기와 그 영향에 대한 연구

양지철 ,  김호중 ,  이칠기 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2010 .06

CMP에서의 웨이퍼 표면결함과 Stick-slip 발생과의 상관관계에 대한 고찰

정소영 ,  성인하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2012 .10

Study on the Relationship between Stick-Slip and Micro-Scratches Generation during Chemical-Mechanical Polishing Process

Soyoung Jung ,  Woo Yul Yang ,  In-Ha Sung

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

CMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구

박범영 ,  서헌덕 ,  박기현 외 2명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

CMP (Chemical Mechanical Planarization) 공정 중 Ceria Particle의 특성에 관한 연구

홍의관 ,  박진구

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

CMP 공정에서 연마입자의 함유량에 따른 Stick-slip 특성에 관한 고찰

정소영 ,  성인하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2014 .10

웨이퍼-미세입자-패드간 상대접촉 운동하에서의 stick-slip 발생양상

정소영 ,  양우열 ,  성인하

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04

Chemical Mechanical Planarization : Theory and Experiment

Xinchun Lu ,  Jianbin Luo ,  Dewen Zhao

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향

이현섭

Tribology and Lubricants

2018 .06

CMP 공정 중 polishing performance 향상을 위한 세라믹 컨디셔너의 개발과 특성평가

박점용 ,  박진구 ,  고승 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Stick-Slip Friction의 파라미터추정을 통한 위치제어에 관한 연구

이병호 ,  박종현

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

Stick-Slip Friction의 파라미터 추정을 통한 위치 제어에 관한 연구 ( Position Control with Estimation of Stick-Slip Friction Parameters )

이병호 ,  박종현

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구

정선호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

반도체 CMP 공정응용을 위한 Particle-scale Tribology 특성 고찰

성인하

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

반도체 CMP 공정응용을 위한 Particle-scale Tribology 특성 고찰

성인하

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

Modeling and Suppression of Stick-Slip in Dry Friction

J. P. Meijaa ,  d ,  A. R. Savkoo

Vibration Conference

1997 .11

Modelling and Suppression of Stick-Slip in Dry Friction

J.P. Meijaa ,  d ,  A.R. Savkoo

한국소음진동공학회 국제학술발표논문집

1997 .01

앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측

전병주 ,  하종문 ,  이준민 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Planarization Modeling Based on Contact Mode Between Pad Asperity and Oxide Pattern During CMP

김현진 ,  박병준 ,  정선호 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2019 .04

CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향

이현섭 ,  박범영 ,  김구연 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2004 .11