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학술대회자료
저자정보
김혜원 (한양대학교) 김동철 (한양대학교) 어영선 (한양대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2009년 하계종합학술대회
발행연도
2009.7
수록면
407 - 408 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

다층 배선 비아(Via)의 고주파 측정 기반 회로 모델링
김혜원 ,  김동철 ,  어영선 대한전자공학회 학술대회 2009.07 학술대회자료
다층 배선 비아(Via)의 고주파 측정 기반 회로 모델링
김혜원 ,  김동철 ,  어영선 대한전자공학회 학술대회 2009.07 학술대회자료

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A via is experimentally characterized by using high-frequency s-parameter measurements. Test patterns are designed and fabricated by using a package process. They are measured by using VNA (vector network analyzer) up to 25㎓. The parasitic eff ... 전체 초록 보기

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