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Design of experiment (DOE) method is employed for a systematic and highly efficient optimization of Ga-doped ZnO thin films synthesized by pulsed laser deposition (PLD) process. We sequentially adopted fractional-factorial design (FD) and central composite design (CCD) of the DOE methods. In fractional-FD stage, significant factors to make conductive electrode are found to target-substrate (T-S) distance and oxygen partial pressure. Moreover, correlation among the process factors is elucidated using surface profile modeling. Electrical properties of the GZO films grown on a glass substrate had been optimized to find that the lowest electrical resistivity of about 1.8´10?⁴Wcm which was acquired with the T-S distance and the oxygen pressure of 4 cm and 7 mTorr, respectively. During the DOE-fueled optimization process, the transparency of the GZO films is ensured higher than 85 %.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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참고문헌 (17)
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1. [학술지(정기간행물)] - R. F. Service / 2005 / Organic LEDs Look Forward to a Bright, White Future / Science 310 : 1763 ~ 1763
2. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 2000 / New n-Type Transparent Conducting Oxides / MRS Bull. 25 : 38 ~ 38
3. [학술지(정기간행물)] - D. S. Ginley / 2000 / Epitaxial Transparent Conducting Oxide Films by PLD / MRS Bull. 25 : 15 ~ 15
4. [학술지(정기간행물)] - A. Suzuki / 1999 / Micro-Textured Milky ZnO:Ga Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition Using Second-Harmonic-Generation of Nd:YAG Laser / Jpn. J. Appl. Phys. 1 (38) : 71 ~ 71
5. [학술지(정기간행물)] - R. G. Gordon / 2000 / Criteria for Choosing Transparent Conductors / MRS Bull. 52 : 15 ~ 15
2. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 2000 / New n-Type Transparent Conducting Oxides / MRS Bull. 25 : 38 ~ 38
3. [학술지(정기간행물)] - D. S. Ginley / 2000 / Epitaxial Transparent Conducting Oxide Films by PLD / MRS Bull. 25 : 15 ~ 15
4. [학술지(정기간행물)] - A. Suzuki / 1999 / Micro-Textured Milky ZnO:Ga Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition Using Second-Harmonic-Generation of Nd:YAG Laser / Jpn. J. Appl. Phys. 1 (38) : 71 ~ 71
5. [학술지(정기간행물)] - R. G. Gordon / 2000 / Criteria for Choosing Transparent Conductors / MRS Bull. 52 : 15 ~ 15
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