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저자정보
황일한 (광주과학기술원) 윤의성 (한국과학기술연구원) 이종현 (광주과학기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
13 - 17 (5page)

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This paper suggests a micromachined reactive force actuator (RFA) for nano-stepping motion. RFA makes step-movement when the electrostatic force is generated in the comb actuator making the suspended spring deflected. The motion of RFA is determined by the combination of the force acting on the actuator such as the reaction force from the deflected spring, the electrostatic force on the electrode and the friction force on the interface between the substrate bottom and the ground. By investigating the effects of the spring stiffness and the payloads through the simulation, the spring stiffness and the driving voltage are determined to make around 2.8㎚ step movement. The side-stability of the comb actuator is taken into consideration for the design. The device is fabricated by DRIE process using SOI wafer and its experimental characterization will be performed after releasing the sacrificial layer.
#Reactive force(반력) #Micromachining(미세가공) #Nano-stepping motion(나노 구동) #Comb actuator(콤 구동기) #Side-instability(측면안정도)

목차

Abstract
1. 서론
2. 구동기 설계
3. 구동기의 제작
4. 결론
후기
참고문헌

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