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김세준 (서울대학교) 민홍석 (서울대학교) 박건중 (서울대학교) 방정환 (서울대학교) 전병선 (서울대학교) 민경덕 (서울대학교) 송성진 (서울대학교) 주영창 (서울대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2001년도 열공학/유체공학 부문 공동 추계학술대회 논문집
발행연도
2001.9
수록면
315 - 320 (6page)

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This paper reports on the development of micro power system component under way at Seoul National University. The need for micro power systems is explained, and a micro power system components under development is described. Design, fabrication, and test processes are introduced, and technical challenges in each phase are described. To manufacture high aspect ratio structures, Deep Reactive Ion Etching (DRIE) process have been developed and optimized. Specially, in this study, Structures with aspect ratios greater than 10 were fabricated. Also, wafer direct bonding and I.R. camera bonding inspection systems have been developed. And the designed micro turbine system and micro combustor are fabricated and tested.
#Micro power system #Micro combustor #Micro turbomachinery #High aspect ratio structure #3-D integrated process #Deep reactive ion etching #Wafer direct bonding

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 압축기 터빈
3. 마이크로 연소기
4. 제작 방법
5. 결론
참고문헌

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