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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2002년도 Proceedings of The Second Asia International Conference on Tribology
- 발행연도
- 2002.10
- 수록면
- 151 - 152 (2page)
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An oxidized surface layer was intentionally formed on a sputtered MoS₂ film by introducing oxygen gas in the final stage of sputtering process. The film showed longer life than the normal Ar-sputtered film when the surface layer was slightly oxidized. A XPS analysis revealed co-existence of MoS₂ and MoO₃ in the surface layer, ... 전체 초록 보기
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