스퍼터 증착된 Zinc Tin Oxide 박막 트랜지스터의 공정 압력에 따른 특성 연구

이홍우 ,  양봉섭 ,  오승하 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

Effect of substrate temperature on the properties of aluminum doped zinc oxide by DC magnetron sputtering

Koo ,  Hong-Mo ,  Kim 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Co-sputtering 방법으로 증착된 실리콘 산화아연 박막의 특성 분석

차경웅 ,  이상혁 ,  김원 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

Properties of Indium Zinc Oxide Thin Films Prepared by Facing Targets Sputtering at Room Temperature

You Seung Rim ,  Sang Mo Kim ,  Kyung Hwan Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01

RF Sputter 방법으로 제조한 ZnO : Ga 박막의 전기 및 광학적 특성

최병호 ,  윤경훈 ,  송진수 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .11

Influence of Microstructure on the Electrical Properties of Gallium Doped Zinc Oxide Deposited by DC Magnetron Sputtering

문대용 ,  문연건 ,  박종완

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO 박막의 구조 및 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재천 외 4명

한국재료학회지

2002 .01

Effects of Sputter Parameters on Electrochromic Properties of Tungsten Oxide Thin Films Grown by RF Sputtering

Nah ,  Yoon-Chae

한국재료학회지

2011 .01

Influence of Plasma Discharge Power on the Electrical and Optical Properties of Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films

Moon ,  Yeon-Keon ,  Pa 외 2명

한국재료학회지

2006 .01

Property of gallium doped Zinc Oxide thin film deposited with various substrate temperatures using D.C. magnetron sputtering

Kim ,  Se-Hyun ,  Moon 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Effects of sputtering gas on the film structure and mechanical properties for the preparation of CNx films by reactive sputtering

Tomoyasu Shi ,  oya ,  Yukihi 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Sputtering 가공기술의 현황과 미래

구강

한국염색가공학회지

1997 .10

The effect of the working pressure on electro-optical properties of aluminium-doped zinc oxide thin film

Bang ,  Bo-Rae ,  Koo 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Tribological performance of a sputtered MoS₂ film having an oxidized surface layer

M. Suzuki ,  S. Shimizu

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

The Role of Energetic Particle Bombardment in Deposition of Thin Film Oxide Phosphors by Sputtering

Lee ,  Cho-Yeon ,  Heo 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

스퍼터 가스가 GZO 박막 물성에 미치는 영향

박이섭 ,  이승호 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Sputtering Technique of Magnesium Oxide Thin Film for Plasma Display Panel Applications

Young-Wook Choi ,  Jeehyun Kim

Journal of Electrical Engineering & Technology

2006 .03

Pulsed-DC 스퍼터링에서 Reverse Pulse Time에 따른 AZO 박막의 특성 변화에 관한 연구

류형석 ,  조진건 ,  권상직 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

THE EFFECT OF PROCESS CONDITIONS ON THE PHYSICAL PROPERTIES OF SILVER FILMS PREPARED BY USING SPUTTERING ON POLYESTER SUBSTRATE

HOANG TaeSu ,  RI EuiJae

한국표면공학회지

1999 .06