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우종석 (서울대학교) 강동원 (서울대학교) 국승희 (서울대학교) 한민구 (서울대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,317 - 1,318 (2page)

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Al 도핑된 ZnO(AZO) 박막은 유리기판의 ITO 버퍼 위에 직류 마그네트론 스퍼터링 방식으로 연속 증착하였다. ITO의 두께가 AZO 박막의 결정성에 미치는 영향을 알아보기 위해 ITO의 두께를 30㎚에서 120㎚까지 변화를 주었다. X-ray 회절 측정결과, ITO 버퍼 위에서 성장한 AZO 박막은 ITO 두께가 증가함에 따라 [002] 방향으로 결정성장이 잘 일어나는 것을 확인하였다. ITO 두께의 증가에 따라 AZO 박막의 결정구조가 향상되는 점은 ITO 버퍼에서 AZO가 에피와 유사한 방식으로 성장한 것이 이유로 분석된다. ITO 두께가 증가함에 따라, 홀 측정을 통해 살펴본 AZO 박막의 이동도는 5.44 ㎠/V ... 전체 초록 보기

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