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저자정보
송근수 (한국생산기술연구원) 김형태 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2010년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2010.11
수록면
717 - 721 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

원자층 증착공정의 저온 선택적 증착 특성을 이용한 유연성 기판용 AZO 투명전도막 증착 실험
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.11 학술대회자료
저온 선택적 원자층 증착공정을 이용한 유연성 기판용 AZO 투명전도막 형성 실험
송근수 ,  유경훈 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Aluminium-doped ZnO(AZO) is considered as an excellent candidate to replace indium tin oxide(ITO) as transparent conductive oxide(TCO) in solar cell devices. In the present study AZO thin film was deposited on poly-ethylen-terephtalate(PEN) substrate at a deposition temperature of 130℃ using diethylzinc(DEZ) and trimethylaluminium(TMA) as precursors and H₂O as an oxidant. The structural and electrical properties of the AZO film was investigated.
#Atomic Layer Deposition(원자층 증착) #Transparent Conductive Oxide(투명전도막) #Flexible Solar Cell(유연성 태양전지)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 검토
4. 결론
후기
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