AZO Anode 전극을 적용한 OLED 소자의 제작과 전기적?광학적특성 분석

진은미; 신은철; 김태완; 박춘배

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자료유형: 학술저널

저자정보: 진은미 신은철 김태완 박춘배

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제4호

발행연도: 2007.1

수록면: 357 - 362 (6page)

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AZO(Aluminum-doped Zinc Oxide) films are attractive materials as transparent conductive electrode because they are inexpensive, nontoxic and abundant element compared with ITO(Indium Tin Oxide). AZO films have been deposited on glass (corning 1737) substrates by RF magnetron sputtering. The AZO film was post-annealed at 600 ℃ for 2 hr with N2 atmosphere. The AZO films were used as an anode contact to fabricate OLEDs(Organic Light Emitting Diodes). OLEDs with AZO/TPD/Alq3/Al configuration were fabricated by thermal evaporation. We investigated that the electric, structural and optical properties of AZO thin films, which measured using the methods of XRD, SEM, Hall measurement and Spectrophotometer. The current density-voltage and luminescence-voltage properties of devices were studied and compared with ITO devices fabricated under the same conditions.

#AZO #Transparent conductive electrode #OLED #RF magnetron sputtering #Post-annealing

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C. M. Aguirre / 2006 / Carbon nanotube sheets as electrodes in organic light-emitting diodes / Appl. Phys. Lett. 88 (18) : 183104 ~

D. Xu / 2005 / An anode with aluminum doped on zinc oxide thin films for organic light emitting devices / Phys. Lett. A 346 (1) : 148 ~

H. Aziz / 2004 / Degradation phenomena in small-molecule organic light- emitting devices / Chem. Mater. 16 (23) : 4522 ~

H. Jiang / 2000 / Improvement of organic light-emitting diodes performance by the insertion of a Si3N4 layer / Thin Solid Films 363 (1) : 25 ~

H. W. Choi / 2005 / Enhancement of hole injection using O2 plasma-treated Ag anode for top-emitting organic light-emitting diodes / Appl. Phys. Lett. 86 (1) : 012104 ~

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