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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 137 - 141 (5page)
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AZO transparent conductive thin films were grown on SiO₂/Si and glass substrates using diethylzinc (DEZ) and trimethylaluminium (TMA) as the precursor and H2 as oxidant by atomic layer deposition. The structural, electrical, and optical properties of the AZO films were characterized as a function of film thickness at a deposition temperature of 150 oC. The AZO films with various thicknesses show well-crystallized phases and smooth surface morphologies. The 190-nm-thick AZO films grown on Corning 1737 glass substrates exhibit rms(root mean square) roughness of 8.8 nm, electrical resistivity of 1.5 x 10-3 Ω-cm, and an optical transmittance of 84 % at 600 nm wavelength. Atomic layer deposition technique for the transparent conductive oxide films is possible to apply for the deposition on flexible polymer substrates.
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A. V. Singh / 2001 / Highly conductive and transparent aluminum-doped zinc oxide thin films prepared by pulsed laser deposition in oxygen ambient / J. Appl. Phys. 90 (11) : 5
C. S. Barett / 1980 / Structure of Metals / Pergamon : 205 ~
H. Kim / 1999 / Electrical, optical and structural properties of indium tin oxide thin films for organic light-emitting devices / Jour. Appl. Phys. 86 (11) : 6451 ~
H. Kim / 2000 / Transparent conducting aluminum-doped zinc oxide thin films for organic light-emitting devices / Appl. Phys. Lett. 76 (3) : 259 ~
K. Tominaga / 1996 / Transparent ZnO:A1 films prepared by co-sputtering of ZnO:A1 with either a Zn or an A1 target / Thin Solid Films 290-291 : 84 ~
C. S. Barett / 1980 / Structure of Metals / Pergamon : 205 ~
H. Kim / 1999 / Electrical, optical and structural properties of indium tin oxide thin films for organic light-emitting devices / Jour. Appl. Phys. 86 (11) : 6451 ~
H. Kim / 2000 / Transparent conducting aluminum-doped zinc oxide thin films for organic light-emitting devices / Appl. Phys. Lett. 76 (3) : 259 ~
K. Tominaga / 1996 / Transparent ZnO:A1 films prepared by co-sputtering of ZnO:A1 with either a Zn or an A1 target / Thin Solid Films 290-291 : 84 ~
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