RGA를 이용한 CVD전구체의 분석 및 진단 연구

신진호; 강상우; 김진태; 신용현; 고문규; 윤주영

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저자정보: 신진호 (한국표준과학연구원) 강상우 (한국표준과학연구원) 김진태 (한국표준과학연구원) 신용현 (한국표준과학연구원) 고문규 (건양대학교) 윤주영 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.8

수록면: 51 - 51 (1page)

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