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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제4호
발행연도
2008.7
수록면
262 - 269 (8page)

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진공시스템 안의 잔류가스를 측정하여 공정제어에 이용되는 잔류가스분석기의 주요부품인 이온원, 사중극자질량분석기, 이온 검출부의 작동원리와 사용 상 발생될 수 있는 문제점 및 가능한 해결방법을 소개한다.
#전류가스분석기 #이온원 #4중극자질량분석기 #이온검출 #residual gas analyzer #ion source #quadrupoloe mass filter #ion detection

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. RGA 제작회사
Ⅲ. RGA의 주요부품
참고문헌

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Y. H. Shin / 1993 / J. of Kor. Vac / Soc 2 (1) : 9 ~ 16 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - S. S. Hong / 2007 / J. of Kor. Vac / Soc 16 (2) : 91 ~ 98 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - C. D. Park / 2008 / J. of Kor. Vac / Soc 17 (1) : 1 ~ 8 google schola 4. [기타자료] - J. J. Manura / / General Mass Spec and GC Application Notes 92, Scientific Instrument Services google schola 5. [학술지(정기간행물)] - N. Takahashi / 2001 / J. Vac. Sci / Technol 19 (4) : 1688 ~ 1692 google schola

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