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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제14권 제3호
발행연도
2005.9
수록면
110 - 114 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

CVD 공정의 전구체 잔존량 실시간 진단방법 연구
윤주영 ,  신용현 ,  정광화 Applied Science and Convergence Technology 2005.09 학술저널

2004

화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구
윤주영 ,  안봉영 ,  김정형 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구는 화학증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 시스템에서 전구체 소모량을 모니터링 하기 위한 방법이다. 전구체는 가격이 매우 비싸기 때문에 이를 모니터링 하기 위한 효과적인 방법이 요구된다. 하나의 예로서 용기내 수위진단을 할 수 있는 초음파 센서를 들 수 있는데 이는 비접촉식이고 가격이 저렴한 유리한 점이 있다. 본 연구에서는, CVD 시스템에서의 전구체 소모량 모니터링을 위한 초음파 진단기술 개발에 관해 연구한다. 또한 반도체 생산라인에 적용이 가능한 실제 진단장치를 개발, 적용한다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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