The effect of hydrogen on crystallinity of Si thin film prepared by ICP-assisted facing target sputtering

신경식; 최윤석; 최인식; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신경식 (성균관대학교) 최윤석 (성균관대학교) 최인식 (성균관대학교) 한전건 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 162 - 162 (1page)

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