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동축전극 구조의 플라스마 집속 장치의 Anode 전극 재질에 따른 EUV (Extreme Ultraviolet) intensity 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속장치의 아르곤 아크 플라스마의 방출 스펙트럼 진단
Applied Science and Convergence Technology
2006 .11
극자외선(EUV) 리소그래피의 빛샘 발생을 위한 플라스 마 집속 장치의 제작 및 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Measurement of electron temperature and density using Stark broadening of the coaxial focused plasma for extreme ultraviolet (EUV) lithography
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속 장치의 제작과 아르곤 아크 플라스마의 발생에 따른 회로 분석 및 전기 광학적 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2006 .07
AC-PDP에서 방전 가스에 따른 플라스마 밀도 및 전자온도
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
AC - PDP에서 방전 시간에 따른 플라스마 밀도 및 전자온도의 변화특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
생물분야 적용위한 플라즈마 집속장치의 전극별 극자외선 특징 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
플라스마 컷오프 탐침을 이용한 전자밀도의 절대값 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
디스플레이 공정용 유도 결합형 플라스마 시스템에서의 전자기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
플라즈마 집속장치로부터 생성된 펄스플라즈마의 에너지, 밀도 및 T⊥ 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
집속이온빔을 이용한 Digital Image Processing 시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
찬음극 전계방출 전자빔의 집속특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
AC - PDP(AC - Plasma Display Panel)에서 Langmuir Probe와 ICCD카메라를 이용한 플라스마 밀도와 온도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
AC - PDP(AC - Plasma Display Panel)에서 Langmuir probe와 ICCD카메라를 이용한 플라스마 밀도와 온도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
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