생물분야 적용위한 플라즈마 집속장치의 전극별 극자외선 특징 분석

김진한 ,  이진영 ,  최은하

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

PDP/EUV 플라스마 소스특성 및 진단기술

최은하 ,  손창길 ,  한용규 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

극자외선(Extreme Ultraviolet) 발진을 위한 플라스마 집속장치에서의 Stark broadening을 이용한 전자온도 및 밀도진단

홍영준 ,  강민경 ,  권도연 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Extreme ultraviolet (EUV)measurement and Plasma diagnostics of the coaxial focused plasma in accordance with Argon pressure for EUV light source

Young June Hong ,  Gi Chung Kwon ,  Hee Myung Shin 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Measurement of EUV (Extreme Ultraviolet) and electron temperature in a hypocycloidal pinch device for EUV lithography

Sung Hee Lee ,  Young June Hong ,  Eun Ha Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

외부 전극 형광 램프의 전극 형성

김영미 ,  권남옥 ,  김성중 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Influence of Ne-Xe Gas Mixture Ratio on the Extreme Ultraviolet (EUV) Emission Measurement from the Coaxially Focused Plasma

Sung Hee Lee ,  Young June Hong ,  Duk In Choi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속장치의 아르곤 아크 플라스마의 방출 스펙트럼 진단

홍영준 ,  문민욱 ,  이수범 외 7명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .11

전극 구조와 공정 압력이 anode layer ion source의 방전 특성에 미치는 영향

김기택 ,  김종국 ,  이승훈 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속 장치의 제작과 아르곤 아크 플라스마의 발생에 따른 회로 분석 및 전기 광학적 특성 연구

이수범 ,  문민욱 ,  오필용 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .07

지구대기감시관측소에서의 최근 EUV-B 관측 결과

송병현 ,  홍기만 ,  최병철 외 1명

Asia-Pacific Journal of Atmospheric Sciences

2005 .06

Adhesion Layer 사용으로 인한 Si Thin Film Anode 전극의 신뢰성 향상

오민섭 ,  송영학 ,  우창수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Measurement of electron temperature and density of the coaxial focused plasma in accordance with insulator lengths for extreme ultraviolet (EUV) lithography

Young June Hong ,  Min Wug Moon ,  Gi Chung Kwon 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Measurement of electron temperature and density using Stark broadening of the coaxial focused plasma for extreme ultraviolet (EUV) lithography

Sung Hee Lee ,  Young June Hong ,  Eun Ha Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

[화학] 시금치 뿌리 조직 바이오센서를 이용한 과산화수소의 정량

이봄규 ,  윤길중 ,  권효식

분석과학

2000 .06

유연 기판상에 진공 증착된 금속 전극의 기계적 안정성

김병준 ,  정성훈 ,  이승훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

전극 표면의 거칠기가 펜터신/전극 경계면의 전류-전압 특성에 주는 영향

김우영 ,  전동렬

Applied Science and Convergence Technology

2011 .03

극자외선(EUV) 리소그래피의 빛샘 발생을 위한 플라스 마 집속 장치의 제작 및 특성 진단

이수범 ,  문민욱 ,  오필용 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Extreme Ultraviolet Plasma and its Emission Characteristics Generated from the Plasma Focus in Accordance with Gas Pressure for Biological Applications

Jin Han Kim ,  Jin Young Lee ,  Sung Hee Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08