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저자정보
탁봉열 (디에이치엠) 김영주 (한국기계연구원) 방창열 (디에이치엠) 한기영 (디에이치엠) 민길호 (디에이치엠) 이소아 (디에이치엠)
저널정보
한국마린엔지니어링학회 한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집 한국마린엔지니어링학회 2010년도 후기학술대회 논문집
발행연도
2010.10
수록면
417 - 421 (5page)

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루츠형 중진공펌프는 1~10-3torr 범위의 진공을 발생하기 때문에 진공상태에서 이루어지는 정밀가공, 증발, 농축, 분리, 주조, 증착, 이송 등의 여러 가지 생산 및 처리공정에 활용될 수 있어 진공을 필요로 하는 국내 여러 분야의 산업, 특히 반도체, 전자, 자동차, 금속소재, 환경설비, 물류 관련 제품을 생산하는 산업에서 수요량이 증가되는 추세이다. 그러나 국산 루츠형 중진공펌프는 진공도가 10-1torr 이하이며, 핵심부품이라 할 수 있는 펌프케이싱과 임펠러에 대한 CFD해석, 진동ㆍ소음저감, 3D 강도해석, 열팽창 및 내마모성을 감안한 정밀주조 등의 관련기술이 미흡하기 때문에 대부분 수입에 의존하고 있다. 본 연구를 통하여 이러한 애로기술을 해결하여 배기속도 2,500ㅡm3/h(진공도를 10-3torr) 정도인 루츠형 다단 중진공펌프 설계와 시작품에 적용될 성능시험 장치를 제작하여 확보하였다.

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
4. 후기
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