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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
류제담 (한국표준연구원 음향진동 그룹) 정완섭 (한국표준연구원 음향진동 그룹) 임종연 (한국표준연구원 진공 기술 센터) 홍동표 (전북대학교)
저널정보
한국음향학회 한국음향학회 학술발표대회 한국음향학회 2004년도 춘계학술발표대회 논문집 제23권 1호
발행연도
2004.1
수록면
221 - 224 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

진공펌프의 소음 진동 측정을 위한 종합 성능 평가 장치 개발
류제담 ,  정완섭 ,  임종연 외 1명 한국음향학회 학술발표대회 2004.01 학술대회자료
임의의 공정 변화에 따른 진공펌프의 소음${\cdot}$진동 평가를 위한 MFC 컨트롤 시스템 개발
류제담 ,  정완섭 ,  임종연 외 1명 한국음향학회 학술발표대회 2004.01 학술대회자료

초록· 키워드

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드라이 펌프(Dry Pump)는 청결을 요구하는 반도체 생산 공정에 많이 사용하고 있다. 오늘날 반도체 수요의 증가와 함께 드라이 펌프의 수요도 늘어나고 있다. 그에 각 반도체 회사들은 진공 펌프의 선정이 매우 중요한 문제 중 하나로 대두대고 있다. 진공 펌프를 위한 종합 성능 평가 장치의 개발은 이들 회사에서 요구하는 펌프의 성능을 종합적으로 평가함으로써 펌프 선정의 중요한 근거 자료로 사용 할 수 있을 것이다. 본 연구에서 구축한 종합성능 평가 장치는 진공 펌프의 최대 도달 진공도(Ultimate Pressure), 배기속도(Pumping Speed), 전력 소비(Power Consumption), 진동(Vibration) 그리고 음향 파워(Sound Power)등과 같은 종합적인 성능을 한번에 평가 할 수 있다.

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