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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
임선종 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집(상)
발행연도
2010.11
수록면
337 - 338 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

SEM에서 대물 렌즈의 전류 제어기 설계
임선종 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료
SEM에서 집속 렌즈에 대한 전류 제어기 구성
임선종 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2010.10 학술대회자료

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#Objective lens #Current controller #Focal length #Acceleration voltage #Crossover

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