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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
임선종 (한국기계연구원) 이찬홍 (한국기계연구원)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2009 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
252 - 255 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (11)

2009

집속 렌즈의 초점 거리 변화에 대한 프르브 전류 분석
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자총의 전압 측정
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 영상 획득에 필요한 구성 요소 구현
임선종 ,  이찬홍 한국레이저가공학회지 2009.01 학술저널

2008

주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프르브 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료
주사 전자현미경에서 집속 렌즈를 이용한 프로브 전류의 차단
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.10 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회지 2008.10 학술저널
주사 전자 현미경에서 빔 전류의 제어
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료
주사 전자현미경에서 프르브 전류의 측정
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 소프트웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.10 학술대회자료

2006

전자 현미경의 제어 신호 체계의 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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The focal length of the lens is the distance along the optic axis from the point where an electron first changes direction to the point where the electron crosses the axis. To obtain an understanding of the functioning of an column which consist of electric optics, sleeve and aperture, it is sufficient to consider the solution of the PRE in terms of the positions of the principal planes and the focal lengths. The simple model of electric lens would help to understand the path of electron in column but do not allow the analysis for real system. This paper presents the analysis for lens's characteristic by measuring lens's current and probe current.
#SEM(Scanning Electron Microscopy) #Condenser lens #Probe Current #Beam Current #Focal length

목차

Abstract
1. 서론
2. 전자 렌즈내의 초점 거리
3. 프르브 전류의 측정
4. 결론
참고문헌

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김기환 ,  장동영 ,  박만진 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .10
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