반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성 ( Characteristics of Ta2O5 Films by RF Reactive Sputtering )

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

반응성 스퍼터링에서 산화 티타늄 박막의 성장 특성

이필홍 ,  고경현 ,  안재환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술

김현식 ,  송재성 ,  정순종 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

반응성 RF마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작한 TiO₂ 박막의 광촉매 특성

이정철 ,  이건환 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

RF 스퍼터링법에 의한 SCT 박막의 기판온도 영향

金鎭士 ,  吳容喆 ,  曺春男 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .10

보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구

송영식

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구 ( A Study on The Reliability of 2-Step Sputtered / Anodized Ta2O2 Dielectric Films )

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향

신동혁 ,  김준아 ,  안태현 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

반응성 RF 스퍼터링법에 의해 성장된 비정질 및 결정질 Ni 산화물 박막의 전기변색 특성에 관한 연구

안광순 ,  염준호 ,  김석순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 차폐용 NbTi박막의 우선방향에 미치는 스퍼터링 압력의 영향

金峯瑞 ,  禹炳哲 ,  邊雨奉 외 1명

전기학회논문지

1995 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 MgO 박막의 특성에 관한 연구

정연우 ,  윤차근 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향

이상운 ,  신동혁 ,  손영국 외 2명

Current Photovoltaic Research

2020 .03

RF 스퍼터링법에 의한 세라믹 박막의 열처리온도 특성

김진사

전기학회논문지 P

2009 .12

DEGRADATION OF Zn₃N₂ FILMS PREPARED BY REACTIVE RF MAGNETRON SPUTTERING

Masanobu Futsuha ,  a ,  Katsuaki Yoshioka 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

RF 마크네트론 스퍼터링법으로 제조된 차폐용 NbTi박막의 우선방향에 미치는 스퍼터링 압력의 영향

김봉서 ,  우병철 ,  변우봉 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

COMPOSITION OF SUPERCONDUCTING YBCO THIN FILMS WITH RF REACTIVE SPUTTERING CONDITIONS

H. H. Kim ,  S. Kim ,  S. H. Shin 외 4명

한국표면공학회지

1996 .12

$Ar/O_2$ 비율에 따른 반응성 RF 스퍼터링법에 의해 성장된 텅스텐 산화물 박막의 전기변색 특성 연구

나윤채 ,  안광순 ,  염준호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01