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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김흥배 (한국생산기술연구원) 노상래 (동서울대학)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.28 No.8
발행연도
2011.8
수록면
966 - 974 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2012

이온빔 몬테 카를로 시물레이션 프로그램 개발 및 집속 이온빔 공정 해석
김흥배 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2012.04 학술저널

2011

집속이온빔과 집속전자빔을 이용한 나노 구조물의 증착
김흥배 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
집속이온빔을 이용한 마이크로/나노 구조물의 3차원 형상 가공
김흥배 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
집속이온빔을 이용한 마이크로/나노스케일에서의 실리콘 금형 가공 특성
김흥배 ,  노상래 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2011.08 학술저널

2007

이온빔을 이용한 마이크로/나노 가공: 형상가공
김흥배 ,  Ge ,  ha 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.10 학술저널

2005

집속이온빔에서 가변 드웰 타임을 적용한 나노 가공
김흥배 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

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The use of ion beams in the micro/nano scale is greatly increased by technology development. Especially, focused ion beams (FIBs) have a great potential to fabricate the device in sub micro scale. Nevertheless, FIB has several limitations, surface swelling in low ion dose regime, precipitation of incident ions, and the redeposition effect due to the sputtered atoms. In this research, we demonstrate a way which can be used to fabricate mold structures on a silicon substrate using FIBs. For the purpose of the demonstration, two essential subjects are necessary. One is that focused ion beam diameter as well as shape has to be measured and verified. The other one is that the accurate rotational symmetric model of ion-solid interaction has to be mathematically developed. We apply those two, measured beam diameter and mathematical model, to fabricate optical lenses mold on silicon. The characteristics of silicon mold fabrication will be discussed as well as simulation results.
#Focused Ion Beam (집속 이온빔) #Micro/Nano Fabrication (마이크로/나노 가공) #Micro Mold (초소형 금형) #Computer Simulation (전산 모사)

목차

1. 서론
2. 기존 모델
3. 회전대칭 모델과 스퍼터 된 원자들의 분포
4. 집속 이온빔 직경 측정
5. 회전대칭 형상의 가공
6. 실험결과
7. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
Ivor, I / 1992 / The Physics ofMicro/Nano-fabrication / Plenum Press google schola Kaesmaier, R / 2000 / Ion ProjectionLithography:Progress of European MEDEA &International Program / Microelectron. Eng 53(1):37~45 google schola Frey, L. / 2003 / NanoscaleEffects in Focused Ion Beam Processing / Appl. Phys.A 76(7):1017~1023 google schola Vasile, M. J. / 1999 / Depth controlof focused ion-beam milling a numerical model of thesputtered process / J, Vac. Sci. Technol. B 17(6):3085~3090 google schola Tseng,A.A / 2004 / Recent Developments in Micromillingusing Focused Ion Beam Technology / J. Micromech.Microeng 14(4):15~34 google schola

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