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李大植 (경북대학교) 鄭昊勇 (경북대학교) 潘尙佑 (경북대학교) 李敏鎬 (경북대학교) 許增秀 (경북대학교) 李德東 (경북대학교)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 第37卷 SD編 第11號
발행연도
2000.11
수록면
9 - 17 (9page)

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폭발성 가스의 종류 및 그 양을 검지하기 위한 10개의 개별 센서가 한 기판위에 집적된 센서이레이를 개발했다. 이 센서어레이는 각종 가스에 대해 다양한 감도 패턴을 가지며, SnO₂를 모물질로 하는 10개의 산화물 반도체 가스센서로 구성하였다. 나노사이즈이며 큰 비표면적을 가진 모물질에 서로 다른 첨가물을 첨가하여 감지물질를 제작함으르써 저농도에 대한 강도 및 재현성을 높였고, 센서어레이 전반에서 균일한 온도 분포가 되도록 설계하였다. 400℃에서 동작하는 센서어레이로부터 얻은 강도를 이용하여 주성분 분석 기법을 통해 폭발 하한값의 범위에서 부탄, 프로판 그리고 메탄 등과 같은 폭발성 가스의 종류 및 양을 신뢰성 있게 식별할 수 있었다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 센서제조 및 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
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