ALD법으로 성장시킨 Al₂O₃ 박막의 특성분석

성석제 ,  김동진 ,  배영호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

열처리조건에 따른 MIM 박막의 Capacitance-Voltage 특성

김진사 ,  최영일 ,  송민종 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .07

A High Density MIM Capacitor in a Standard CMOS Process

Ch ,  istian Rye Ive ,  sen

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2001 .09

ALD방법으로 ZnO 나노와이어에 코팅된 Al₂O₃ 박막

황주원 ,  김기현 ,  강명일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

MIM의 D2D 그룹통신 성능 분석

최정우 ,  장보경 ,  윤영한 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2015 .11

통신소자 응용을 위한 MIM 구조 유기박막의 전자특성

최영일 ,  송진원 ,  이경섭

대한전자공학회 학술대회

2005 .11

MIM 커패시터에서의 정합특성의 온도에 대한 의존성

장재형 ,  권혁민 ,  곽호영 외 5명

전자공학회논문지

2013 .05

MIM 구조를 갖는 Al2O3/HfO2/Al2O3 캐패시터의 정합특성 분석

장재형 ,  이희덕 ,  권혁민 외 7명

전기전자재료학회논문지

2012 .01

원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

신석윤 ,  함기열 ,  전희영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

Silane 기반 유기물을 이용한 ALD Al₂O₃ 박막의 열화방지

권정현 ,  정성훈 ,  이승훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Fabrication of High Performance Plastic MIM-LCDs

Jeong ,  Jong-Han ,  Woo 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석

이경범 ,  최병호 ,  한권덕 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

마이크로 스트립 전송선로상의 MIM 커패시터의 모델링

안동식 ,  장동필 ,  오승엽

한국통신학회논문지

1995 .09

ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 다른 박막의 구조적 특성변화

장삼석 ,  허재성 ,  김범준 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

GaAs 집적소자용 $(Ba_{0.5},Sr_{0.5})TiO_{3}$ MIM capacitor 연구

고정덕 ,  김동식 ,  정우철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

단락 개방 Calibration 방법을 이용한 MIM 커패시터의 기생 소자 값 추출

김유선 ,  남훈 ,  임영석

전자공학회논문지-TC

2008 .08

비휘발성 메모리 응용을 위한 ALD법을 이용한 Al₂O₃ 절연막의 특성

정순원 ,  이기식 ,  구경완

전기학회논문지

2009 .12

HfO₂ 유전체를 이용한 Metal-Inaulator-Metal 케패시터의 초고주파 특성 분석

정석원 ,  박정일

Proceedings of KIIT Conference

2007 .06

원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰

심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10