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ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
[스웨즈락] 최적의 밸브로 ALD 공정의 정확성 및 일관성 개선하는 방법
전자기술
2023 .04
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
ALD 공정 온도와 AI 도핑율에 대한 AZO 나노박막 제조 실험
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .08
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Atomic Layer Deposition for Energy Conversion and Storage Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
분말 코팅을 위한 원자층 증착법
한국분말야금학회지
2019 .01
Silane 기반 유기물을 이용한 ALD Al₂O₃ 박막의 열화방지
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
지속가능한 반도체 ALD 공정챔버의 가스유동장 수치해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2023 .06
ALD 공정에 따른 그래핀 에어로젤의 열전도도 변화
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
반도체 ALD 공정챔버의 마이크로 공정갭 가스유동장 설계
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2024 .06
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