산소 기체를 이용한 ALD법으로 층착한 ZnO박막의 증착 온도가 전기적 특성에 미치는 영향

진용욱 ,  강상원

대한전자공학회 학술대회

2007 .11

ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용

이우재 ,  윤은영 ,  권정대 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

ALD방법으로 ZnO 나노와이어에 코팅된 Al₂O₃ 박막

황주원 ,  김기현 ,  강명일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

$Al_2O_3/Si$ (100) buffer layer위에 증착된 ZnO 박막의 후속 열처리에 따른 특성 변화

김초롱 ,  이재엽 ,  임재영 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석

이경범 ,  최병호 ,  한권덕 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구

송정규 ,  박주상 ,  이한보람 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2012 .01

ZnO 박막 두께에 따른 ZnO 박막 트랜지스터의 특성

김홍승 ,  정재현

인포메이션 디스플레이

2008 .01

원자층 증착법의 투명 박막 트랜지스터에의 응용

김형준 ,  임성준 ,  권순주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

신석윤 ,  함기열 ,  전희영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

타겟간 거리 변화에 따른 ZnO박막의 c-축 배향성에 관한 연구

성하윤 ,  금민종 ,  손인환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .05

N-doped ZnO 박막의 미세 구조 특성

이은주 ,  Rui ,  ui Zhang 외 2명

한국정보통신학회논문지

2009 .11

증착 압력에 따른 ZnO:Al 박막의 특성

김성연 ,  신범기 ,  김두수 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구

민재식 ,  손영웅 ,  강원구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

As 확산이 ZnO 박막의 특성에 미치는 효과

윤욱희 ,  명재민 ,  이동희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

The effect of temperature on physical properties of ZnO/Ag/Zno on PET Films

Jin-woo Lee ,  Yun-hae Kim ,  Mu 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .05

2단계 증착법을 이용하여 증착한 ZnO 박막의 열처리 효과 분석

이진복 ,  이명호 ,  이혜정 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

Synthesis of Ni(OH)₂@ZnO for high performance supercapacitor electrode materials by combining hydrothermal method and ALD process

김다영 ,  만지흠 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성

양병찬 ,  안지환 ,  신정우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10